歡迎光臨崑山科技大學電機系(所)
真空工程研究室
(Vacuum
Engineering Research Laboratory)
管理人員：
研究室位置：工程一館6樓E1613
教學目標
本研究室提供完整的真空學理、工程和應用技術。訓練學生成為真空工程產業所需的合適人才。本實驗室真空系統狀態模擬：抽真空時間、氣導對壓力、有效抽氣速率對壓力…
相關課程
真空技術
光電元件
半導體製程
半導體元件
材料科學導論
薄膜製程
重要設備
熱脫附量測系統 X1
真空學理教學系統 X1
教學用的濺鍍系統 X1
真空模擬軟體
氦氣測漏儀 X1
真空模擬軟體 X5
真空幫浦 若干
重點績效產出
1. 近五年執行計畫熱脫附7件，透明導電膜7件以上。
2. 近五年產出國際期刊論文16篇，國際研討會論文9篇以上。
3. 近五年將2個產學計畫轉換成教材：「國產乾式真空幫浦使用於電漿輔助化學氣相沉積製程」、「測試評估連續式濺鍍製作氧化鋅摻雜鋁薄膜」。
4. 協助托爾真空股份有限公司進駐崑山科大育成中心，做真空製程應用諮詢與教育訓練。 (95.4~)
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熱脫附量測系統 |
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真空學理教學系統 |
教學用的濺鍍系統 |
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氦氣測漏儀 |
歷年碩士班學生畢業後就業狀況
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畢業年度 |
姓名 |
服務單位 |
職稱 |
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95學年 |
謝文翔 |
亞太優勢微系統股份有限公司 |
工程師 |
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95學年 |
李鎮緯 |
日月光半導體股份有限公司 |
工程師 |
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95學年 |
張躍馨 |
日月光半導體股份有限公司 |
工程師 |
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95學年 |
丁華彦 |
日月光半導體股份有限公司 |
工程師 |
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95學年 |
尤銓聰 |
力晶科技股份有限公司 |
工程師 |
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96學年 |
陳柏佑 |
啟耀光電股份有限公司 |
助理工程師 |
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96學年 |
李恒旭 |
日月光半導體股份有限公司 |
工程師 |
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96學年(職) |
吳光榮 |
啟耀光電股份有限公司 |
工程師 |
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96學年(職) |
邱瀧慶 |
勤友企業股份有限公司 |
工程師 |
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97學年 |
吳振銘 |
服役中 |
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97學年 |
傅守璽 |
服役中 |
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97學年 |
陳皇岐 |
服役中 |
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相關連結：
電機系（所）網站:
http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/ELR/
工程學院網站:
http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/
崑山科技大學網站: