歡迎光臨崑山科技大學電機系()

真空工程研究室

(Vacuum Engineering Research Laboratory)

管理人員:張慎周老師

研究室位置:工程一館6E1613

 

教學目標

本研究室提供完整的真空學理、工程和應用技術。訓練學生成為真空工程產業所需的合適人才。本實驗室真空系統狀態模擬:抽真空時間、氣導對壓力、有效抽氣速率對壓力

 

相關課程

真空技術

光電元件

半導體製程

半導體元件

材料科學導論

薄膜製程

 

重要設備

熱脫附量測系統    X1

真空學理教學系統      X1

教學用的濺鍍系統      X1

真空模擬軟體

 
氦氣測漏儀                  X1

真空模擬軟體        X5

真空幫浦                若干

重點績效產出

1. 近五年執行計畫熱脫附7件,透明導電膜7以上

2. 近五年產出國際期刊論文16篇,國際研討會論文9篇以上。  

3. 近五年將2個產學計畫轉換成教材:「國產乾式真空幫浦使用於電漿輔助化學氣相沉積製程」、「測試評估連續式濺鍍製作氧化鋅摻雜鋁薄膜」。

4. 協助托爾真空股份有限公司進駐崑山科大育成中心,做真空製程應用諮詢與教育訓練。 (95.4~)

熱脫附量測系統

真空學理教學系統

教學用的濺鍍系統

 

氦氣測漏儀

 

歷年碩士班學生畢業後就業狀況

畢業年度

姓名

服務單位

職稱

95學年

謝文翔

亞太優勢微系統股份有限公司

工程師

95學年

李鎮緯

日月光半導體股份有限公司

工程師

95學年

張躍馨

日月光半導體股份有限公司linkscanner://safe.gif

工程師

95學年

丁華彦

日月光半導體股份有限公司

工程師

95學年

尤銓聰

力晶科技股份有限公司

工程師

96學年

陳柏佑

啟耀光電股份有限公司

助理工程師

96學年

李琣

日月光半導體股份有限公司

工程師

96學年()

吳光榮

啟耀光電股份有限公司

工程師

96學年()

邱瀧慶

勤友企業股份有限公司

工程師

97學年

吳振銘

服役中

 

97學年

傅守璽

服役中

 

97學年

陳皇岐

服役中

 

 

 

相關連結:

電機系所)網站:

http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/ELR/

工程學院網站:

http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/

崑山科技大學網站:

氦氣測漏儀

 
http://www.ksu.edu.tw/index.aspx