歡迎光臨崑山科技大學電機系(所)

奈米碳管分析室

教學目標

本研究室提供奈米碳管製作與場發射分析訓練。主要知識背景為薄膜和電漿的學理和應用技術，訓練學生成為薄膜和電漿產業所需的合適人才。

相關課程

真空技術

半導體製程

透明導電膜

材料科學與工程導論

重要設備

微波電漿化學氣相沉積系統 X1

三靶共濺鍍機 X1

奈米碳管場發射分析儀 X1

重點績效產出

1. 執行產學計畫“真空熱處理改善直線式連續濺鍍氧化鋅摻鋁薄膜光電性質的可行性評估”(98E-63-002) 教育部/弘暄科技股份有限公司98,1~98,12.

2. 執行國科會科學工業園區人才培育補助計畫”利用連續式濺鍍機台製作薄膜太陽能電池使用透明導電氧化物薄膜” 97.2~97.8.

3. 執行產學計畫“使用國產微波電漿輔助化學氣相沉積機台在玻璃基板上成長奈米碳管可行性評估”(NSC 97-2622-E-168 -011 -CC3), 國科會/托爾真空股份有限公司97,08~98,07.

4. 執行產學計畫“連續式濺鍍機台鍍至薄膜之製程開發”, 勤友企業股份有限公司,96,4~97,3.

5. 近年使用本實驗室設備發表國際期刊6 篇，國際研討會 6 篇以上。

相關連結：

電機系（所）網站: http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/ELR/

工程學院網站: http://www.ksu.edu.tw/cht/unit/D/T/CE/

崑山科技大學網站: http://www.ksu.edu.tw/index.aspx